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志圣 推半导体恒温式烤箱

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SEMICON Taiwan 2日至4日在台北市南港世贸展览馆登场,志圣工业(2467)主打全新开发完成的半导体恒温式无尘烤箱產品,并强调已在国内某半导体大厂完成装机、认证中。

志圣表示,SEMICON Taiwan是国际半导体產业协会(SEMI)所举办,这次参展包括半导体恒温式无尘、自动化真空、自动化无尘无氧等烤箱產品,其中恒温式无尘烤箱可用于晶圆(Wafer)的去水及封胶后烘乾,產能除是业界常用升降温式烤箱的4倍,每年可为客户减少制程中氮气耗气量50%、耗电量60%,整体节能效益逾50%。